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產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱:

等離子清洗機(jī)

描述:雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200:適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗ji。均勻性高的電極構(gòu)造。操作簡單的觸摸屏控制器。
  • 更新時間:2024-06-15
  • 產(chǎn)品型號:PDC200
  • 產(chǎn)品廠地:上海市
  • 訪問次數(shù):866

產(chǎn)品介紹

雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200產(chǎn)品信息:
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗儀器。均勻性高的電極構(gòu)造。操作簡單的觸摸屏控制器。
高頻輸出300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),電極尺寸250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)適用于研究開發(fā)的小型等離子清儀器。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng)多種用途。
PDC200/210/510等離子清儀器用途
?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
?去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
?印刷電路基板的干式清洗
?界面活性處理
?LED封裝
?DP模式(PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配)
?RIE模式
?均勻性高的電極構(gòu)造
?操作簡單的觸摸屏控制器

雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200產(chǎn)品參數(shù):

型號

PDC200

PDC210

PDC510

等離子模式

RIE(DP模式選配)

RIE/DP

電極構(gòu)造

平行平板(固定)

高頻輸出

Max300W

Max500W

頻率

13.56MHz

控制·顯示

液晶觸摸屏

反應(yīng)室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

電極尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反應(yīng)室材質(zhì)

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)(Ar、O2)

填充氣體

N2或干燥空氣

反應(yīng)氣體流量控制

流量計

聚合控制器

真空泵

另行選配

油泵(約345L/分)標(biāo)配

油泵(約500L/分)標(biāo)配

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

約100kg

約105kg

約180kg

電源

單相AC100V10A

三相AC200V6A

三相AC200V8A

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